“这下可以说了吧，到底是什么惊喜——别让我猜啊。”

“其实就是工件台成了。”曲慧一副云淡风轻的表情，端起茶杯吹了口气后笑眯眯地道：“你猜到了是吧？”

“双工件台的构想是根据华罗庚先生的统筹方法思想而来，原理就是把在曝光过程中处于等待状态下的流程先走一步。实现一个工件台曝光，一边进行测量对准等工作。等到曝光完毕，就可以不用再测量对准，从而直接就可以移动平台，然后曝光。”

“根据我们的估计，在目前的工艺水平下，采用双工件台除了可以提高30%以上的效率之外，还可以略微提高精度——别的不说，10%起码有的。”

“你和郑叔一起过来，不是光刻机的事还能是啥？”苏远山一摊手，笑道：“让我干等了一个小时，再惊的喜也给整没了。”

“成了，但有点麻烦。”曲慧知道苏远山对光刻机倾注的心血不比晶圆厂少，此刻也不开玩笑，正色了起来：“你知道的，制约国产光刻机精度的最大敌人就是精度。”

苏远山点头：“嗯，不用你说，我就算再不懂机械也知道。”

“精度的最大问题又会最终落在电机控制，材料，加工精度上。”曲慧抿着嘴，慢慢道。

郑振川放下茶杯，冲苏远山乐道：“你先听小曲的，等会我再说。”

“嗯……”苏远山听到郑振川这语气，顿时心中多了几分“警惕”起来。

这老爷子，语气听起来不对呐！

但他太了解曲慧了。

这姐妹儿，干练豪爽不说，还古灵精怪……既然打定主意要给自己兜圈子，那自己怎么问都是没个结果的。

好在一小时并不长，当他打开一篇最新的石墨烯领域的paper后，时间便迅速流逝起来。

既然猜到了曲慧极有可能是在双工件台技术上取得了突破，苏远山接下来可就真有点坐不住了。

感情这次不是单纯的“报喜”，似乎还有套等着自己。

不过他依旧不动声色，整个人放松了姿势：“曲慧姐，你说，工件台到底怎么样了。”

“嗯，是有不少时间了。”曲慧出乎意料地留了头发，还梳了个马尾，脖子上围着丝巾。她笑呵呵地坐到苏远山对面。

一小时后，曲慧与郑振川如约而至。

“郑叔，慧姐，好久不见。”苏远山早已在客座沙发旁等着，就连茶都已经准备好了。

“害！我就应该给周小慧偷偷打个电话问一下的——对了，周小慧呢？”

“不知道，估计是在天驹那边吧。今天德仪那边刚好有人过来，她去接待一下。”苏远山顿了顿，望向郑振川：“郑叔，别告诉我，你们已经将工件台用在光刻机上了。”

苏远山再次点头：“然后呢？”

“我们这次取得的突破，是在运动定位模块和流程控制系统上。”

苏远山听得眉毛一扬！

他哪怕对双工件台的设计和原理再不懂，他也知道，实现双工件台最困难的地方便是运动定位系统，是真正的“牵一发动全身”“差之毫厘，谬之千里”。

而且苏远山还知道，ASML的初代双工件台，其实效率并不十分高，只能说略有提升——就是因为控制系统不成熟。不然也不会直到浸没式光刻机出来之后才正式宣判尼康和佳能死刑。

双工件台技术真正的成熟，还必须等到磁悬浮技术诞生。只有那样，才能把误差缩短到极限。

但一切的前提还是控制系统。

那么……既然都已经取得突破了，还有什么麻烦？

“那麻烦在哪？”

“麻烦在于，我们目前只能实现0.5微米的精度。”曲慧紧缩着眉，凝望着苏远山道：“而且，精度越高，摩擦系数和阻尼作用就越强。我有点担心，它在未来能不能追上光刻机的步伐。”

“我给你坦白吧，目前首精上下普遍都很振奋——我虽然也高兴，也知道不能泼冷水。但如果工件台无法用在最先进的光刻机上，那它的意义就少了许多。”

“还有一点，我们目前的工业基础，只能允许我们做到这个极限。”

苏远山沉默地听着曲慧的介绍，终于明白了她的忧虑在哪。

几秒后，苏远山微笑着摇头：“曲慧姐，其实你们已经很厉害了。”

他这句话不是安慰人，而是真心这样认为。

虽然他很少直接去首都精科那边，但各种支持从来都是不遗余力的。要什么协助给什么协助，就算要机床，他也在前年的时候费尽周折地搞了一台。

所以，双工件台名义上是首都精科一个企业搞的技术，但实际上，却是一个由原首都精密仪器研究所，远芯，志远，清华这四方巨头联合进行的一次技术攻关。

从阵容上，这个团队就已经堪称豪华了。

要知道，搞机械，特别是精密机械，它不比搞程序设计。

程序设计可以叫嚣“只有想不到，没有做不到”，但机械设计还真是，你能想到，但基本上办不到。

双工件台的构思说白了，就如曲慧所说的那样，源自华罗庚老先生的统筹方法——就是在等待烧开水的过程中就把茶杯洗干净，茶叶拿出来丢进杯子里，顺便还拧着暖水壶在一旁等着，只要水开，马上就能泡茶，装水，一气呵成。比等水开了再去找茶叶洗茶杯要节约很多时间。

但真要实现起来却不简单，毕竟这是两个工件台的协同配合，而且要保持高速运动下的0.5微米的运动精度——其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上，其中一架飞机伸出一根杆子，在对面的机身上刻0.5微米大小的字。

至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧保持冷静乃至忧虑……苏远山完全能够理解。

因为曲慧刚出校门就进入了远芯，亲自参加了EDA的诞生，又亲眼见证了远芯在各个领域的崛起。

说白了，就是曲慧所参与，所看到的，全是世界顶级的技术成果。

双工件台虽然出来了，却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。

她不甘心。

“这样，曲慧姐，我给你指一条方向。”苏远山不知道双工件台技术接下来要具体往哪一边走，但苏远山却知道双工件台的未来在何方。

“嗯？你说什么方向。”

“目前工件台的最大难点还是在于高速运动下所导致的一系列麻烦，所以……如果要把目光瞄准到十年，二十年之后，瞄准到纳米级精度的话，我认为，只有一条路，就是磁悬浮。”

“磁悬浮？”曲慧闻言一怔，直愣愣地望着苏远山。

郑振川也惊讶起来：“小山，磁悬浮能用在工件台上？”

“不是磁悬浮能用在工件台上，而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏，实现超精密运动控制，在现有的自然科学和机械空城的框架下，就只有磁悬浮这一条路。”

曲慧沉默数秒后慢慢点头，喃喃道：“是了，磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势，避开短板。”

“可是，那个难度怕是有点大吧？现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案？”郑振川则想了想，迟疑地问道。

“不知道，但管他呢！”曲慧吸了口气，整个人瞬间振奋了起来，望向苏远山道：“小山，你真觉得那是个方向？”

“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重点头。

有了新方向的曲慧再无心交谈，转而去苏远山的书架翻了一本物理书来看。

见曲慧这模样，苏远山也在心里暗暗发笑——曲慧别看已经三十岁了，可长期以来身处科研一线，身份身家都无与伦比，以至于心态还是小姑娘心态。

“郑叔，怎么说？”苏远山起身给郑振川斟满茶水，笑呵呵地问道：“你别告诉，你是来推销光刻机的。”

“嗯，还真是。”郑振川从刚才苏远山口中的磁悬浮工件台的设想中回过神来，笑着道：“我们拿到了蔡司的镜头和Cymer的KrF光源，接下来就能量产最低0.18微米工艺节点的光刻机了。”

“我靠！”

苏远山眼珠子一瞪，差点没从沙发上弹起来：“怎么拿到的？”

“呵呵，别激动。”郑振川好整以暇地抿了一口茶：“怎么样，要不要来两台？”

“等等！”苏远山马上便清醒过来：“别拿空头支票来忽悠我，先说清楚，什么时候可以可以出厂。”

“最多半年。”

听到这个半年，苏远山又默默地算了一下自家光源的时间，这才慢慢平静下来，笑着骂了一句：“NND，帝国主义亡我之心不死。”

“是啊……但这样好歹能把咱们的光刻机与尼康佳能的距离缩到只有一代了，对吧？”

“嗯，这倒是。”

苏远山含笑望着郑振川，突然越看越觉得这老头有点像“买办”了。

很显然，在这个时候，蔡司和Cymer突然对国产光刻机放行，除了有霓国同行的竞争之外，还有就是有把国内的光源和镜头技术“扼杀”在摇篮的想法。

要知道，他们给的光源和镜头，可不是最先进的……

Cymer都已经搞出193的ArF了，正在想搞EUV或者F2呢。

“不过郑叔，我们已经预定了尼康最先进的DUV光刻机，他们的节点可是能够到65纳米。”苏远山一耸肩，呵呵笑道：“差不多半年。”

“……”郑振川便带着一脸哀怨地看着苏远山：“当初你说好要支持的呢？”

“我当然一直都是支持的，但这事儿我做不了主啊郑叔。你不应该找我，而是应该去找德远的张博士。”

说着苏远山便疑惑起来：“不对，郑叔……无锡那么多晶圆厂，为什么你不去找他们？”

远芯在光刻机，晶圆厂的战略方向一直很明确，就是以保持制程和工艺的领先——换言之就是设备上不能落后。

光刻机自然要支持，甚至还要大力支持。但钱可以出，在有选择的情况下，买一堆落后的产品，这事儿却是不能干的。

国家也认同远芯的发展，因此从来把希望寄托在远芯身上，继而让华晶，华鑫，首晶等新老国有控股的晶圆厂大力采购国产光刻机，用以扶持。

所以郑振川找苏远山，是没找对门。

“因为每个企业都有追求。”这时曲慧抬起头，悠悠地来了一句。

苏远山便望向郑振川，只见后者的表情已经变得苦涩了起来。

郑振川沉默几秒后，发出了一声轻叹：“国外同行在今年开了不少口子，国内的晶圆厂，只要有钱，基本上都能买到KrF的光刻机……”

“现在国家上上下下都在讲市场化，就算上面再支持我们，也不可能说强制下行政命令让企业只买我们的光刻机吧？”

“而且……我们的光刻机……确实，我承认，稳定性比起国外同行差了一点。但我们起步晚，这是很正常的，总要给我们一点时间进步和完善，对吧？”

“现在倒好，随着国外解禁，国内企业又开始有钱了……再加上国家一直在推动无锡那边的产业升级，成立了以华晶为首的半导体联盟。旨在提高整个国内半导体行业的元器件自产率和制程升级……所以，我们在目前落后两代的情况下，确实有点难搞。”

“现在无锡那边，已经有人在诋毁说咱们的光刻机这不行，那不行……还不如多花点钱买ASML和尼康佳能。”

“在那些人眼里，晶圆厂就是印钞厂，光刻机就是印钞机，就算再贵，只要够先进，能稳定运行，那印到后面就是印的钞票。”

静静地听郑振川说完，苏远山意识到，历史的走向已经完全改变了。

但有一样还是没变。

造不如买的思想没变。

——事实上，造不如买不仅仅是一种思想，而是一个持续在整个工业化进程中的现象。

原因很简单，机械设备领域，确实不如别人。

工欲善其事，必先利其器。

哪怕它再贵，稳定性和效率依旧压倒一切。

“哈哈，当然没有。”

嗯，主要是他现在难得遇到一篇不灌水的石墨烯论文。

……

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